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雅科貝思 突破“不可能三角”——飛馬座運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

雅科貝思 突破“不可能三角”——飛馬座運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

產(chǎn)品簡介:

雅科貝思飛馬座運(yùn)動(dòng)平臺(tái),以系統(tǒng)層面的正向設(shè)計(jì),從材料、結(jié)構(gòu)、熱管理和運(yùn)動(dòng)控制等多個(gè)維度出發(fā),實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)整定、亞微米級(jí)精度,更將靜態(tài)抖動(dòng)控制在納米級(jí)別,為半導(dǎo)體制造帶來了革命性的突破。

產(chǎn)品分類:

運(yùn)動(dòng)控制 其它

品牌:

產(chǎn)品介紹

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