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ULV 系列是高端真空級直線電機系列中的中型號系列。 ULV 系列通常用于對峰值推力有要求或低熱量輸出的應(yīng)用,如光刻和檢測。
在更長的行程中,ULV線圈可以連接組合以節(jié)省磁鐵材料,但仍能達到高性能。
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